浦東半導體無塵車間裝修設計及注意事項

2021年,全世界經(jīng)濟經(jīng)歷了疫情的嚴肅考驗,伴隨著后疫情時代的到來,中國經(jīng)濟向好的新一輪工業(yè)革命浪潮正迅猛推進,同時極大地促進了中國半導體產業(yè)技術的革新,無論是從科技,還是從經(jīng)濟發(fā)展的角度看,半導體在中國制造領域里都是非常重要的。
作為致力于半導體高科技生產服務的尚文凈化公司,所在的凈化工程行業(yè)的市場競爭非常激烈,而且目前也由價格競爭轉向為需方提供更多的價值競爭,在這種形勢下,尚文凈化公司更是積極地參與到政府主導的半導體行業(yè)產業(yè)鏈凈化工程建設項目中來。電子級多晶硅是整個集成電路產業(yè)鏈的源頭和基礎,而我國的電子級多晶硅材料長期依賴進口,供應受制于人,半導體材料科技有限公司電子級多晶硅的成功產出填補了這一空白,同時半導體公司圍繞著主產業(yè)生產服務的新項目建設拉開了帷幕。
半導體行業(yè)要想獲得高質量的成品,需要嚴格控制空氣中的粒子數(shù),此時,無塵車間就起到了決定性的作用。
半導體無塵車間裝修潔凈室系統(tǒng)技術參數(shù):
1、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;
2、平均風速:0.3-0.5m/s(百級);
3、噪聲≤65dB(A);
4、新風補充量是總送風量的10%-30%;
5、照度300LX;
6、溫度:20-26 度(車間),溫度:12-23度(測試)
7、濕度:50-70%RH(車間),濕度40-85%RH(測試)
8、潔凈度等級:百級-30萬級用于測試區(qū)域,千級-30萬級用于生產制造區(qū)域
9、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內容,靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產品的良率。

浦東半導體凈化車間設計及注意事項
1、半導體凈化無塵車間內部要確保塵埃粒子只出不進,因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕,空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,凈化無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內回旋停滯的機會與時間減至程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。

半導體凈化車間設計裝修

半導體凈化車間設計裝修

浦東無塵車間裝修

浦東無塵車間裝修

浦東凈化無塵車間裝修

浦東凈化無塵車間裝修

上一篇:無塵車間裝修風淋室的作用

下一篇:什么是無塵車間凈化工程